Фалькевич Э.С., Пульнер Э.О., Червоный И.Ф. Технология полупроводникового кремния., 1992
Технология полупроводникового кремния / Фалькевич Э.С., Пульнер Э.О., Червоный И.Ф. - М.: Металлургия, 1992. - 408 с., ил.
Изложены физико-химические основы технологии полупроводникового кремния, рассмотрены свойства технологических материалов, влияние структурных несовершенств и термической обработки на электрофизические и физико-химические свойства кремния. Описаны процессы получения кремния и оборудование, в том числе вакуумное и криогенное. Рассмотрены способы получения кремния с заранее заданными свойствами, приведены области его примения. Значительное внимание уделено контролю качества продукции, технике безопасности в кремниевом поизводстве.
Для инженерно-технических работников и специалистов полупроводниковой промышленности. Может быть полезна студентам вузов, обучающимся по соответствующим специальностям.
ISBN 5-229-00740-0
Djvu, 4.95 Mb
Фалькевич Э.С., Пульнер Э.О., Червоный И.Ф. Технология полупроводникового кремния., 1992 (djvu)
